簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "自動化及控制研究所".dept (精準) and ckeyword.raw="莫爾條紋"


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    應用於數位微影之莫爾條紋對位量測技術開發
    • /108/ 碩士
    • 研究生: 蘇俊翰 指導教授: 郭鴻飛
    • 在線路圖案的定義過程,無論是使用什麼型態的曝光系統,對準量測技術皆為關鍵的製程步驟,在曝光之前能夠準確的將載台進行可以有效減少製程的重工率,進而降低製程成本。本實驗室在先前的研究過程中,發現使用數位…
    • 點閱:270下載:16

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    基於紅外光莫爾條紋對準光學模組開發
    • /110/ 碩士
    • 研究生: 柯友加 指導教授: 郭鴻飛
    • 三維先進封裝可以透過層層堆疊擴展每個3D芯片的功能,遠遠超出傳統縮放的能力,然而進一步的尺寸小型化為半導體行業帶來了巨大的挑戰,其中在晶圓鍵合過程中對準量測技術為關鍵的製程步驟,在鍵合前能夠準確將晶…
    • 點閱:216下載:0
    • 全文公開日期 2024/09/16 (校內網路)
    • 全文公開日期 2024/09/16 (校外網路)
    • 全文公開日期 2024/09/16 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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